真空泵的選用
1、真空（kōng）泵的工作（zuò）壓強應該滿足真空設備的（de）極限真（zhēn）空及工作壓強要（yào）求。如：真空鍍膜要（yào）求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度（dù）至少要5×10-6mmHg。通常選擇（zé）泵的真空度要高於真空設備真（zhēn）空度半個到一個數量級。
2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工（gōng）作（zuò）壓強範（fàn）圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強範圍內，泵的（de）抽速隨壓強而變（biàn）化，其穩定的工（gōng）作壓強範圍為（wéi）5×10-4~5×10-6mmHg。因而（ér），泵的（de）工作點應該選在這（zhè）個範圍之內，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華（huá）泵可以在10-2mmHg下工（gōng）作，但其工作壓強應小於1×10-5mmHg為好。
3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全（quán）部氣體量。
真（zhēn）空泵的（de）選用
4、正確地組合真空泵。由於真空泵（bèng）有選（xuǎn）擇性抽氣（qì），因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要（yào）求，需要幾種泵組合起來，互（hù）相補充才能滿足抽氣要（yào）求。如鈦升華泵對氫有很（hěn）高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射（shè）離子泵，(或二極型（xíng）非對稱陰極濺（jiàn）射離子泵)對氬有一定的抽速，兩（liǎng）者組合起來，便（biàn）會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不（bú）能在大氣壓下工作，需要預真空;有的真空泵出口（kǒu）壓強低於大氣壓，需要前級泵，故（gù）都需要把泵組合起來使用。
5、真空設備對油汙染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各（gè）種無（wú）油泵（bèng），如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫（wēn）泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加（jiā）上一（yī）些防油汙染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也（yě）能達到清（qīng）潔真空要求。
6、了解被（bèi）抽氣體（tǐ）成分，氣體中含不含可凝蒸（zhēng）氣，有無顆粒灰塵（chén），有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及（jí）腐（fǔ）蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路（lù）上安（ān）裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。
7、真空泵排出來的油蒸氣對環境（jìng）的影響如何（hé）。如果環境不允許有汙染，可以選無油真空泵，或者把油（yóu）蒸氣排到室外。
8、真空泵工（gōng）作時產（chǎn）生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者（zhě）采取（qǔ）防振（zhèn）動措施。
9、真空泵的價格、運轉及維修費用。
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